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電子部品・基板外観検査装置「NC-Stage」

  • 1軸ステージ
  • 2軸ステージ
  • ラインセンサ
  • 最大800×1000mm

欠陥検査や計測、精密で過検知の少ない基板用検査装置

概要

  • 各種電子基板や特殊シートの自動外観検査装置ライン導入で高い実績
  • 64ビットPC対応、最大128GBの実メモリ搭載可能
  • 10億画素/枚を超える大容量画像を一度に処理
  • マルチCPU並列処理により3億画素/秒以上の超高速処理
  • 高精細ラインセンサ(8K、12K、16K)、2.5-10μm分解能で微細欠陥を検出
  • 伸縮補正位置合わせと輪郭ファジー比較処理でパターン欠陥を安定検出
  • パターン幅連続スライス計測によりマスターレスで突起・欠け・断線検査
  • 黒・白・金属異物、パターン突起・欠け・ショート・断線・ピンホール、
    傷、クラック、打痕、汚れ、はがれ、銅残り、飛散り等検出
  • オプションのカラーラインセンサ採用で変色や色むらなどの検出

NC-Stageの主な機能

NC-Stageは、フィルム基板やタッチパネル基板、リジッド基板など各種電子基板や特殊シート、大判印刷シート、高機能電子部品などの高精度検査に適した、画像検査装置です。
高解像度ラインセンサを採用し、数十ミクロン幅のファインピッチパターンの外観・品質検査を、低価格で実現します。
ナビタスチェッカーフレックス独自技術である伸縮補正位置合わせ技術と輪郭ファジー処理により、パターンの位置ズレや伸び縮み、輪郭部のばらつきがあっても、的確に輪郭部の微細欠陥を検出します。
またパターン幅の連続自動スライス計測機能により、ファインピッチパターンの断線・ショート・欠け・突起などをマスターとの比較を行うことなく(マスターレスで)検出します。
この場合、パターン幅に対し1/2や1/3ルールに従った突起・欠けやピンホールを検出することも可能です。

基本仕様

項目 内容
適用製品 1各種電子基板、特殊シート、大判印刷シート、高機能電子部品、他
検査対象サイズ 100㎜×100㎜ ~ 800mm×1,000㎜
画素分解能 2.5μm、4μm、5μm、10μm、20μm、他(採用カメラとワークサイズに依存)
ラインセンサ 4k(4,096画素)、8K(8,192画素)、12K(12,288画素)、16K(16,384画素)より選択
※カラーラインセンサ対応も可能
照明 LED高輝度ライン照明(反射・透過、選択可)
PC OS:Windows マルチCPU(4~12Core)、メモリ6GB以上
電源 単相100V、50/60Hz、約1.0kw
搬送装置オプション
  1. ステージX軸移動のみの1軸制御
  2. ステージX軸移動+カメラY軸移動の2軸制御
画像処理エンジン ナビタスチェッカーフレックス

検査内容

項目 内容
パターン・印刷品質 ピンホール、異物、欠け、かすれ、突起、太り・細り
パターン幅に対し1/2や1/3のサイズの突起・欠けやピンホールを検出
背景欠陥検出 インク飛び、異物、シミ、すじ、傷、打痕、汚れ
寸法計測 連続スライス幅計測、角度、アールなど
位置ズレ計測 見当ズレ、印刷位置など
可変情報検査 連番確認、バーコード・2Dコード・マイクロQRコード読取りと照合、品質検査、文字認識と可変印字品質検査
結果確認機能

FLX-Verify(フレックスベリファイ)(オプション)

  • 欠陥箇所の拡大表示と良品/検査品の切り替え表示
  • 検査結果のリスト表示
  • 不良判定品の救済処理
  • 判定結果の記録、保存